MicroSense电容式微位移传感器

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定位应用

平面度测量

MicroSense有限责任公司成立于1967年，原隶属于KLA-Tencor公司。以其超高分辨率、非接触式的空间尺寸测量技术闻名。MicroSense提供传感器和OEM计量模块，在其的电容式感应技术基础上，进行超高，高带宽的精密测量应用，如太阳能硅片(厚度测量)，硬盘驱动电机（主轴跳动误差分析），气浮主轴（主轴跳动误差分析），精密XY工作台（位移量测试及定位），光盘（厚度、平坦度测量），汽车零部件及机床（直线度、平坦度及定位）,伺服反馈系统（如钻石切割、压电式切割机）。我们的电容式位移传感器提供了在同行业中的分辨率（小于0.05纳米），具有出色的稳定性和几乎无限的使用寿命。

产品参数：

MicroSense旗下共有4800、5800、6800和8800系列产品。探头主要分为被动式和主动式两种型号。探头型号的选择需要综合考虑被测物体尺寸、运动速度等因素。

被动式探头具有高线性度、高稳定性、高分辨率的特点，带宽支持：10Hz、100Hz、1KHz、10KHz、支持20KHz带宽，线性度为满量程的0.02% - 0.1%,量程范围从+/- 5um - +/-2mm，稳定性：一般优于200ppm/oC，分辨率为纳米或亚纳米级别，输出电压：+/- 10V；

主动式探头具有高带宽、高动态、高分辨率、高信噪比的优良性能，带宽支持：1KHz、5KHz、20KHz、100KHz，线性度为满量程的0.1% - 0.5%,量程范围从+/- 25um - +/- 1mm.稳定性：一般优于200ppm/oC，分辨率为纳米或亚纳米级别，输出电压：+/- 10V。

主要应用于马达转子测量、驱动电机测试等高速运转的应用。

以下列举部分探头参数：

典型分辨率(RMS, nm)

产品性能优势：

?    高分辨率，可达亚纳米级分辨率；

?    没有迟滞；

?    高带宽，可支持100KHz带宽；

?    小探头尺寸，探头尺寸及长度可根据客户实际应用设计；

?    高；

应用领域：

1.    距离测试、机床和精密机台的直线度和平面度测量

2.    机床主轴，空气轴承主轴，轴承和精密电机径向和轴向跳动测试

3.    硅片等厚度测试 

4.    定位系统应用：

5.    自动对焦控制系

6.    伺服反馈系统

现有客户群体：

清华大学、南开大学、天津大学、德国Bruker、荷兰ASML、美国西部数据(Western Digital Corp)、美国Federal Mogul、美国FEI、韩国三星集团、日本 Canon、日本Nicon、日本NUFLARE、日本YASKAWA等企业及院所。