产品品牌：

LINE TECH

产品型号：

M3030V/A

测量范围：

1 m3/h

等级：

+/-1%

公称通径：

6 mm

适用介质：

气体

工作压力：

10 MPa

工作温度：

0-50 ℃

   气体质量流量控制器 ( Mass Flow Controller简称MFC ) & 气体质量流量计( Mass Flow Meter简称MFM ) 能够在较大的量程范围内对气体的质量流量进行高测量和控制。 应用领域： 真空镀膜设备 , 光电产业到工业用工具的表面镀膜Sputter磁控溅射台, PVD, CVD , MOCVD, 氧化 , 等离子刻蚀 , 离子注入直拉式晶炉，精密的半导体产 ,燃料電池,气调储存保鲜相关设备,胞培养发酵罐设备精密气体混合分析，熔炼设备器件渗漏侦查, 高压相关产业反应装置，生物反应器，生物过程控制器乳酸生产成套发酵系统设备医疗设备等等涉及到人工 电子或是电脑控制的气体相关作业。