产品型号：

IR3000

精密减压阀 
体积小，重量轻
比传统的精密减压阀IR3000流量大20％(1100 lmin)
比传统的精密减压阀IR3000排气5倍
压力没定(调节螺栓的齿间距由传统的0.17mm改成O.5mm)
安装办便，可用托架独沈安装或与现在的模块式过滤组合AF及AFM直接安装
标准也带面板式安装
先导排气口与主道排气口分开
可在洁净房使用（特别产品）