产品型号：

sfc3000

 

规格：

－经济型，适合大的OEM
－全数字标定，RS485接口
－：设定值的2%
－量程：0-200 sccm
－多种气体标定，可通过软件切换N2/He/H2/Ar

应用领域：
_分析仪器 _干刻（RIE/DRIE）
_生物技术 _气相色谱分析
_激光焊机 _过程自动化
_真空镀膜 _燃料电池

安装尺寸

70*25*78（mm）