高真空气动插板阀
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CCQ气动超高真空插板阀 CCQ型气动超高真空插板阀 CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向,控制执行气缸驱动阀板作上下运动,达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。

CQ型气动超高真空插板阀主要技术性能

适用范围:Applicability  105~1.3×10-7Pa
 阀门漏率:Valve Leak Rate  ≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)
 ≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)
 适用温度:Applicable Temperature  -30~+150℃
 阀门开启时阀板两侧的压差:  ≤2.7×103Pa.
 气源压力:Annoy pressure  0.4~0.6MPa