一、技术参数

行程范围：X轴------700 mm Y轴------800 mm Z轴------600 mm

结构型式：活动桥式

传动方式：柔性齿同步带+预载荷高空气轴承

长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm

机台：高花岗岩平台

使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m 温度变化 1℃/h

空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

空气流量：100 L/min – 120 L/min

整机尺寸：1.7 m X 1.9m X 2.7m

机台承重：750 kg

整机重量：950 kg

控制及探针测量系统： 1．驱动系统：直流伺服电机 (日本) 2．控制系统：Renishaw （英国） UCC 3．操作方式：计算机自动控制 + 微电脑操纵盒 4．控制软件：SEREIN DMIS V2.0 5．探测系统：Renishaw（英国）MH20i +TP20 （标准配置） 6．测量不确定度（E）：（3+L/300）μm

二、机械特点

 1．整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量及稳定性。

2．三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，保证测量过程中良好的温度稳定性及刚性。

 3．三轴导轨均采用自洁式预载荷高空气轴承，使运动更平稳，导轨永不受磨损。

 4．长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而提高设备的稳定性。

5．控制系统采用英国 RENISHAW 的 UCCLITE 高速高自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制。

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