美国Micro-vu测量仪
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型號 Excel651UM Excel651UC Excel652UM Excel652UC Excel654UM Excel654UC
量測行程 650x650x160mm 650x650x250mm 650x650x400mm
外形尺寸 1311x1604x1608mm 1311x1604x1788mm 1311x1604x2088mm
重量 1530kg 1550kg 1550kg
承載重量 100kg 100kg 100kg
平臺材質 鋼構
基座材質 花崗岩
傳動方式 Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z
電控系統 伺服系統: CNC, 滑鼠, 搖杆
電源系統 93-264 VAC, 47-63 Hz,10 Amp
XY Uxy=2.5+L/300μm Uxy=2.8+L/300μm Uxy=3.2+L/300μm
Z Ux=2.5+L/150μm Ux=3.0+L/150μm Ux=3.5+L/150μm
XY 重現性 2.5μm 2.8μm 3.2μm
Z 重現性 2.5μm 3.0μm 3.5μm