上海睿游电子科技有限公司维修真空溅镀系统分子泵和磁控溅射电源的公司，磁控溅射电源涵盖美国AE( Advanced Energy)电源,ADL电源，M2电镀电源等，公司拥有经过专门培训的维修工程师，具备了和全面的电源的维修知识和技能，多年来成功地为国内外客户维修各种等离子镀膜电源，获得了国内外业界的客户和朋友的认可。

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PFEIFFER 德国普发真空分子泵 VACUUM TIC250/TCP015/TW250/TCP121/TC600/TCP380等型号

LEYBOLD德国莱宝真空分子泵控制器型号:TurboVAC150/151/361/1000/T1600/TW70/300/700 等型号

Alcatel/Aixen阿尔卡特分子泵控制器型号:ACT250/ACT100T/ACT600T/ACT200T/ACT100T等型号

Edwards STP301 DN100CF Inlet BEdwards STP301C ISO100 inlet KF25 outlet BEdwards STP301C ISO100 Inlet BEdwards STP301C ISO100 inlet KF40 outlet BEdwards STP301C DN100CF Inlet BEdwards STP301对应的备件订货号为：Edwards STP straight connection cable, 5m BEdwards Connection cable, 12m PT21Y0B08Edwards STP straight connection cable, 3m BEdwards STP301磁悬浮分子泵用途为：Plasma etch (chlorine, fluorine and bromine chemistries) formetal (aluminum), tungsten and dielectric (oxide) and polysiliconElectron cyclotron resonance (ECR) etchFilm deposition CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVDSputteringIon implantation source, beam line pumping end station

BOC Edwards STP 301  STP 451  STP 603  STP 1003 STP 301C  STP 451C STP 603C  STP 1003C

爱德华Ultra High Vacuum Range分子泵