PSP.6A.12RN.01A 是一款采用海德星科技（厦门）有限公司自主生产的微型压电线性马达驱动的三维探针台，该探针台具有结构紧凑、高、多功能、响应迅速及高性价比的特点，是实验室及生产检测设备的选择。该探针台采用了模块化设计的理念，可以十分方便地组合成各种探针检测设备，旨在满足各种诸如单切晶片、4’’以下晶圆、LED 芯片、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。该三维探针台配备专门的3 轴霍尔控制元件，可在观测的时候同时进行灵活和精准的操作。同时具备十分优良的可扩展性，可根据需要选配各种不同部件进行功能上的升级。应用领域：根据测试样品分类 根据应用分类晶圆测试 射频测试LED 测试 高温环境测试功率器件测试 低温真空测试MEMS 测试 低电流（fA）测试PCB 测试 I-v/c-v/p-iv 测试液晶面板测试 高压，大电流测试太阳能电池片测试 特殊气体环境测试材料表面电阻测试 强磁环境测试纳米器件测试 辐射环境测试PSP.6A.12RN.01A 规格参数行程（单轴行程） 12mm（X 轴&Y 轴&Z 轴）马达 HDS-MLF小步长 0.3um（开环系统）速度 200mm/s负载 20g控制方式 标准品自带HDS 控制驱动一体机，配三轴霍尔操纵杆导轨类型 IKO 直线滚珠导轨结构材质 铝合金6061-T6（不锈钢可选）装配质量 700g标准产品为两套三维探针台，一个连接底板及HDS 控制驱动一体机，如前页图片所示。可选配件：1、光栅闭环系统2、不同规格探针3、压电超精密 XY 轴样品载物台或手动XY 样品载物台4、不同规格显微观察系统及显微镜万向连接装置5、可定制不同规格尺寸安装底座及连接底板6、真空吸附型卡盘（不锈钢、黄铜材质可选）7、积分球夹具8、视频 CCD 系统9、封装器件夹具10、PCB 板夹具11、样品加热系统12、光学隔振平台13、屏蔽箱14、强磁场及高真空度使用请直接咨询厂商以获得更加详细的信息使用环境：实验室、无尘室、真空环境使用（具体细节请咨询厂商）环境温度: 0 – 50°C保存温度: -40°C - +70°C湿度: 0 – 80% 无结露

海格威公司产品型录

自主创新产品：压电马达、超声电机、压电直线马达、压电旋转马达

精密光学系统：电动纳米位移台、精密探针台、电动显微镜平台、电动精密显微镜平台、电动显微镜变焦系统、Optotune变焦镜头 、激光消斑器

运动控制器：  以色列ACS多轴控制器

            美国GALIL多轴控制卡

              Allmotion运动驱动控制器             

             美国PARKER运动控制器

伺服驱动器：  美国TRUST线性放大器、美国VAREDAN线性放大器、parker公司aries驱动器、C3驱动器

直线电机：    美国AIREX直线电机

交流伺服电机：日本Panasonic、Yaskawa

步进电机：    美国PEAKSERVO步进及控制器

光栅：        美国MicroE直线光栅、圆光栅以及旋变

             英国雷尼绍公司的直线光栅和圆光栅

运动平台：     美国ALIO全系列精密运动平台、多轴直线平台、旋转台、并联六自由度平台、力矩电机平台、直线电机平台、美国PARKER公司的全系列产品