- 产品型号:
- XLE-3
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产品介绍
XLE-3型大平台检测显微镜是专为IT行业大面积集成电路,晶体的质量检测而设计开发制造的。
正置式,三目镜筒,比传统的显微镜更适合于观察。上部安装彩色摄像机连续彩色监视器可直接观察。可连接计算机打印、照片或连接数码相机,照相机直接拍照,还可以直接进行图像记录,并建立技术检测档案,存储,查询,可省去复杂烦琐的摄影,洗印等暗室工作,大大的提高了工作效率。
·产品特点
1、放大倍数:40倍至500倍;
2、超大型载物台,可作大范围的纵横方向快、慢速移动,扩大检测领域的使用范围。
3、可以与OVM-TM软件搭配使用。
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技术参数
1、机械筒长160mm。
2、物镜
|
放大倍数 |
数值孔径 |
工作距离 |
介质 |
使用范围 |
配置 |
|
4× |
0.10 |
17.912 |
空气 |
明场 |
1 |
|
10× |
0.25 |
6.544 |
空气 |
明场 |
1 |
|
PC20× |
0.40 |
1.05 |
空气 |
明场 |
1 |
|
PC40× |
0.65 |
0.736 |
空气 |
明场 |
1 |
3、目镜
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放大倍数 |
焦距 |
视场直径 |
备注 |
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10× |
25 |
18 |
- |
|
12.5× |
25 |
14 |
选配 |
4、物镜:放大倍数 40倍至500倍。
5、载物台面积 400mm×300mm。纵向移动范围---254mm横向移动范围---254mm
6、调焦机构:同轴粗微调机构,调焦范围36mm.格值0.002mm。
7、光源:内藏式连续调光电源,钨卤素灯12V/50W。
8、物镜转换器 五孔式 (四孔式)。
9、目镜筒 三目镜 (双目镜)。
10、仪器功能,明场、偏光、摄影等。
11、仪器重量:17公斤。
12、仪器体积:长560mm,宽530mm,高400mm。