产品品牌：

microvu

产品型号：

MVU251

基本参数：

型号	Vertex251	Vertex12x12
XY	Uxy=2.0+L/250	Uxy=2.6+L/175
Z	Ux=2.5+L/150	Ux=3.0+L/150
XY 重现性	2.0μm	2.5μm
Z 重现性	2.0μm	2.0μm
XY 加速度	500mm/S2
Z 加速度	200mm/S2
XY 移动速度	250mm/s
Z 移动速度	100mm/s
光学尺分辨率	1.0μm, 0.5μm, 0.1μm
量测行程	200x150x150mm	300x300x150mm
外形尺寸	760x635x965mm	1090x865x990mm
重量	60kg	125kg
承载重量	7.5kg	12kg
基座材质	铝合金(花岗岩选购l)
传动方式	Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z
电控系统	伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆
光学系统 &放大倍率	12:1 光学 Zoom, 17-410x 或 6.5:1光学 Zoom, 20-250x
影像 & 光源	红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统)
软件	InSpec for Windows Metrology Software
工作环境	20℃±2°,30-80% 湿度