高精度膜厚检测设备HM-S100半自动

     高精度膜厚检测HM-S100半自动设备采用超高精密运动平台驱动其进行在线扫描，非接触式、无损的、且快速的光学膜厚 测量系统可以用于测量各种薄膜厚度、 油墨银浆厚度、LTCC/MLCC湿膜、厚膜 电阻行业膜厚、太阳能行业膜厚、透明 胶水厚度等，专门解决工业膜厚测量的 问题，改善工艺和提高生产效率和质量。

一、产品属性

1、非接触光学测量系统。 2、应对各种材质，重复测量精度≦0.5μm。 3、高速采样，最快周期20μs。 4、强大的CPK统计功能。 5、吸附系统及高精度位移系统。 6、测量轮廓、断差、槽深、高度等。

二、规格参数

外观尺寸(mm) 650*500*350 

测量行程  100mm 

Z轴可调行程  50mm  

有效测量范围 80mm 

扫描步距 2um  

扫描速度 30mm/s 

检测重复精度  ≦0.5um  

电源 AC220V±10%

三、其他