气体流量控制器，日本KOFLOC进口金属密封气体质量流量控制器5400系列
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型号5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，度≤±1%，反应时间≤±1/秒，基本性能适用于半导体过程控制，实现了划时代的低成本。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。
□ 通过安装温度流量传感器得到高的快速回应
□ 通用的常闭型阀门
□ 无焊接构造，金属密封确保低的泄露
□ 采用膈膜阀减少了死区
□ 间距，主体尺寸和连接的设计可以和其它生产商的控制器兼容