特点

1.快速响应ppb水平的微量湿度变化

2.高灵敏度，实时监测

3.小巧经济，适合多点安装

4.报警点设置可编程

5.交通灯直观状态显示

6.MODBUS兼容

典型运用

安装于晶圆生产FAB中的高纯惰性气体管路末端

技术参数

响应时间：<1Min（在1ppb基础上的20ppb变动）

湿度范围：1ppb~20,000ppm

工作压力：0~10Bar

压力等级：30MPa

工作温度：+5~+40℃

气室材料：冷拉不锈钢，内部超微米级电抛光

防护等级：IP65

流量等级：建议为1~10NL/Min

工作电源：20~28VDC

输出信号：Modbus RS485