- 产品品牌:
- 聚亮
- 产品型号:
- CW2010-Z
- 产品用途:
- 微距测量
- 测量范围:
- 35MM
CW2010—Z Z轴非接触式测量仪
一、
特点: 以裂像聚焦指示器为测量原理, 采用高光学聚焦点检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场,微分干涉,金相,偏光等多种观察功能。所以对极细微的间隙高低差,夹杂物、微米以下的突起、细微划痕、以及金相组织进行观察。
二、
用途:适用于硅片、
IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构,几何形状进行显微观测。并且有三维的测量功能,其解析率达0.0005mm。因此是精密零件,集成电路,半导体芯片,光伏电池,光学材料等行业的必用仪器。
三、
主要规格
1. 镜筒:铰链式三目头部 30°倾斜 270°旋转
2. 高眼点平场目镜: WF10X/22
3. 平场复消色差物镜:(可根据使用需求选择不同倍率的物镜)
f=200mm用全平场复消色差物镜/M Plan APO
|
物镜数据
|
|
倍率
|
2X
|
*5X
|
*10X
|
*20X
|
50X
|
100X
|
NA
|
0.055
|
0.14
|
0.28
|
0.42
|
0.55
|
0.55
|
W.D(mm)
|
34
|
34
|
33.5
|
20
|
13
|
13
|
焦点距离(mm)
|
100
|
40
|
20
|
10
|
4
|
2
|
分解率(µm)
|
5
|
2
|
1
|
0.7
|
0.5
|
0.5
|
焦深(µm)
|
91
|
14
|
3.58
|
1.6
|
0.9
|
0.9
|
注: 带*号的为标配物镜
4. 水平转换器:五孔转换器,可对每个转换口进行调焦和调中,以消除物镜和转换器的制造误差,保证测量。(本项已申请)
5. 落射式照明系统: 高亮度LED灯(5W)
6. 调焦结构:粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置,
粗动升降范围30mm,微动格值,0.001mm*100格,数显解析值 0.0005mm。
7. 透射光源:LED光源,1W,亮度可调
8. Z轴升降范围:38mm以内,手轮转动130mm 允许工件 130mm,
导轨3+L/1000
X轴移动范围:200mm 解析率:0.001mm 可解锁手动快进,
Y 轴移动范围:100mm 解析率:0.001mm 可解锁手动快进,
测量(3+L/100)um (L: 被测长度,um)
落射光测量误差≤0.08%
9.Z轴采用裂像法原理进行观察测量,结合精密的Z轴导轨,可有效保证测量的准确度。
10.工作台尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作台承重: 30kg
11.仪器外型尺寸:380mm*550mm*830mm
12.净重:100kg 毛重:120kg