X，Z线性位移轴，静油压轴承技术；

大理石整体结构，主动隔振系统；

X,Z 伺服电机驱动，行程410mm；

铣磨轴气浮轴承技术，直流伺服电机驱动；

非接触在线测量系统，测量+/-0.5um；

加工直径：400mm／800mm；

加工：

Flatness-100nm/100mm

Roughness - 2nm(RMS)

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