自动温控加热板NHP-320
价格:电议
地区:广东省 深圳市
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手 机:13902985072
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1、              设备名称与型号:自动温控加热板NHP-320

2、              设备外观图:(见图)

3、              设备概要:本设备可以同时加热302wafer,片子通过PIN升降达到所有wafer加热时间相同,克服因人工夹放wafer造成的工艺不稳定问题。

4、              设备规格:

1)         基板尺寸:2wafer

2)         Through Put30/run

3)         温度范围:20~150(Plate表面)

4)         HP材质:AL+SALW(阳极处理)+Silastic Heater

5)         加热面尺寸:(W×D×H) 510×430×12(mm)

6)         温度分布:90 ±1120℃±1

7)         温度SensorPT100型热电偶;

8)         温度表示:温度调整器Digital表示;

9)         控制方式:Digital温度调整器+SSRPID);

10)    设备外面尺寸:(W×D×H) 566×486×170(mm)

11)    设备净重:30Kg

5、             设备运作流程:

1.查看设备外观无运输破损后,将电源线插入~220V接线板插坐;插上供气管

2.打开电源开关,设备自检初始化,顶针(PIN)顶起

3.设置加热温度;设置工作时间

4.放上待加热晶片

5.按开始键,顶针下落,晶片落下,贴紧加热板,开始加热,时间继电器开始计时

6.时间到,顶针(PIN)同时顶起晶片,所有晶片同时离开热板不再加热,蜂鸣器响起提醒工作人员取下加热均匀的晶片。

7.工作过程中,遇突发事件,可按停止按健,顶针立即顶起晶片,停止加热,时间继电器复位,方便随时进行人工干预。

6、              厂务要求:

项次

项目

內容

容量

备注

1

电源

AC 220V

15A 50Hz

 

2

CDA

>6Kg

稳压1.5Kg

 

3

供气管

φ8mm

3Kg~10Kg

 

 

7、              产品优势:

a)       30/run,产能优势;

b)    Silastic Heater温度均匀性更高。

 

 

品牌/商标

力琦

企业类型

贸易商

新旧程度

全新

原产地

台湾