CCD坚膜专用无尘烘箱,CCD光刻坚膜专用百级无尘烘箱
价格:电议
地区:上海市
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CCD坚膜专用无尘烘箱,CCD光刻坚膜专用百级无尘烘箱

CCD(电荷耦合器件)制造过程中,颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响,降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面:一个制造过程中工艺环境产生的颗粒;另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员,工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺,比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。

本公司生产的COL-系列无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100,为CCD(电荷耦合器件)制造过程中烘烤提供洁净环境,预防颗粒沾污

无尘烘箱特点:

1:全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

2 :采用进口SUS304#日制8002mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE

3:采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门

(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)

技术参数:

1. 百级无尘烤箱型号:COL-2

2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500

3. 温度范围:RT60300

4. 无尘烤箱洁净度:100级;

5. 温度均匀性: ±1.5%

6. 度:±0.5

7.     源:380V 50Hz  7.5KW

8. 箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE),内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,保温材料:超细玻璃棉; 

9. 空气循环装置:大容量轴流电机;

10. 加热方式:不锈钢电加热器;

11. 温度测量传感器:Pt100 铂电阻;

12. 控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制0.1

13. 超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;

14. 控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;

15. 口:ф50

16.     板:2层,不锈钢方通,承重约30KG

CCD坚膜专用无尘烘箱,CCD光刻坚膜专用百级无尘烘箱

品牌/商标

上海旦顺

企业类型

制造商

新旧程度

全新

原产地

上海