日立扫描电子显微镜HD-2700日立球差校正扫描透射电子显微镜
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产品品牌:
日本.日立
产品型号:
HD-2700
类型:
光学显微镜

详细信息



电镜球差校正技术的实用化,使得同时进行超高分辨率观察和超高灵敏度分析成为可能。日立高新技术公司与CEOS公司共同的努力,成功地开发出了新一代扫描透射电子显微镜(STEM)。
HD-2700通过球差校正,用大会聚角获得了亚纳米级电子束,在分辨率和分析性能获得重大的进步。
HD-2700共有三种型号,分别是配有球差校正的高分辨型和标准型,以及无球差校正型,可根据应用需求选择。

特点:
1.高分辨观察
*利用金颗粒保证0.144nm分辨率DF-STEM像(标准型)
2.增加了探针电流(约为非校正的STEM探针电流的10倍),可以进行高速、高灵敏度能谱分析
*可以在更短的时间内获得元素的面分布图
*检测微量元素成为可能
3.简化的操作
*提供了专用的GUI自动调节球差校正器
4.整体的解决方案
*样品杆与日立FIB兼容,提供了纳米尺度的整体解决方案:从制样到数据获得和终分析
5.多种评价/分析功能可选
*同时获得和显示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配备ELV-2000型实时元素Mapping系统(DF-STEM像可以同时获得)
*实时衍射(DF-STEM像和衍射像可以同时观察)
*低剂量功能可以减少由电子束造成的样品破坏/污染
*可以配备超微柱头样品杆进行三维分析(360度旋转)
*的放大倍率校准功能
技术指标
项目 描述
分辨率
(晶格分辨率)
1、配有球差校正的标准型    0.144nm,电子枪:冷场或热场
2、配有球差校正的高分辨型  0.136nm,电子枪:冷场
3、无球差校正型            0.204nm,电子枪:热场
加速电压 200KV
放大倍率 100x -10,000,000
 
图像模式
图像模式相衬度像(TE像)
原子序数衬度像(ZC像)
电子衍射花样(可选)
特征X射线像(可选:EDX)
EELS像(可选:ELV-2000)
 
电子光学
电子枪 场发射电子源,内置阳极加热器                          
透镜系统 两级聚光镜、物镜、投影镜                          
球差校正器 六极/传输双重(标准型和高分辨型)                           
扫描线圈 两级电磁线圈                         
电位移 0.5μm                          
样品杆 类型 侧插式                          
移动范围 X,Y=±1mm,T=±30°(单倾样品杆)                   
操作系统 Windows XP