日立扫描电镜 S-3400N扫描电子显微镜
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产品品牌:
日立
产品型号:
S-3400N
类型:
光学显微镜

产品名称:日立扫描电子显微镜S­-3400N

日立扫描电子显微镜S­-3400N的介绍
具有新开发的电子光学系统,强大的自动化功能,操作更简易。

日立扫描电子显微镜S­-3400N的特点
1. S-3400N具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净、高效。

日立扫描电子显微镜S­-3400N的技术指标

项目

描述

 SE分辨率

 3.0nm (30kV),高真空模式 

 10nm (3kV),高真空模式

 BSE分辨率

 4.0nm (30kV),低真空模式

 放大倍率

 x5 ~ x300,000

 加速电压

 0.3 ~ 30 kV

 低真空范围

 6 ~ 270 Pa

 样品尺寸

 直径200mm

 样品台

I

II

 X

0 ~ 80mm

0 ~ 100mm

 Y 

0 ~ 40mm

0 ~ 50mm

 Z

5 ~ 35mm

5 ~ 65mm

 R 

360º

360º

 T

-20º~ +90º

-20º ~ +90º

 样品高度

35mm (WD=10mm)

80mm (WD=10mm)

 驱动类型

手动

五轴马达驱动

 灯丝

预对中钨灯丝

 物镜光栏

可移动式4孔物镜光栏

 枪偏压

固定比例偏压、手动偏压和自动4偏

 检测器

二次电子检测器
高灵敏度半导体背散射电子检测器

 分析位置

WD=10mm, TOA=35o

 控制

鼠标、键盘,手动旋钮

 自动调校

自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦

消像散、自动亮度对比度