产品品牌：

成仪牌

产品型号：

ZLS-26D/M

ZLS-26D/M 型氦质谱检漏仪的主要性能和硬件构成与ZLS-26D/T 型氦质谱检漏仪相同。它由26型检漏系统与触摸式大屏幕工控系统组成。是成都仪器厂新开发的新一代氦质谱检漏仪器。    仪器采用计算机程序控制，通过触摸式显示屏按人机对话方式进行功能操作，具有自动寻峰、程序控制、检漏数据存储、分析、统计及打印等功能，具备高度的智能化程度。

主要配置：分子泵：德国莱宝50型　　             1台

               前级泵：美国瓦里安DS42型　　　　1台

               粗抽泵：英国爱德华RV12型　　　　1台

               触屏工控计算机（研华牌12吋）　　 1台

               工控系统软件（成都仪器厂）　　　　1套

              校准漏孔（带计量校验证书）　　　　1件

              质谱分析室（离子源，灯丝等）（成都仪器厂）　　

              全套控制电路（成都仪器厂）喷枪或吸枪（成都仪器厂）　　　　　　　　　　　

              全套密封圈备件、离子源备件等随机配套   

系统主要特点：   1.微机系统控制2.12寸触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，漏率直读，四种常用漏率单位转换       3.自动扫描氦峰，具有图形显示和保存功能4.动态清除本底5.不同工件检漏曲线显示6.检漏数据保存和打印功能7.声讯报警，报警点可程序设置    主要技术参数：1.仪器小可检漏率：优于5*10-12Pa.m3/s2.仪器可检漏率：2×10-1Pa.m3/s3.仪器的反应时间：  不大3s4.仪器质谱室允许工作的压强：1×10-2Pa5.仪器测试口允许工作的压强：1000Pa6.背压法检漏时间可调范围：5～30s7.仪器的启动时间：  不大于5min8.仪器的轮廓尺寸：  640×550×980 mm39.仪器的重量：      约75Kg10.仪器使用电源：220V±10％，50Hz