北京德华振峡科技有限公司
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产品属性
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测量原理:共焦测量(非接触式)
测量物镜:10X,20X,50X,100X
Z轴测量范围:400um
工作距离:1mm
Z轴分辨率:10nm,3nm,2nm,1nm
侧向分辨率:1.98um,1um,0.396um,0.198um
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