产品品牌：

COXEM【酷塞目】

产品型号：

CX-200TA

类型：

电子显微镜

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主要参数
分辨率：3.0nm (30KV, SE image) 10nm（3KV,SE image）
              4.0nm（30KV，BSE image）
放大倍数：10X ~300,000X（WD=5mm）
                  3X （WD=50mm）
加速电压：0.5KV ~ 30KV
电子枪：W灯丝，预对中
聚光镜：2级电磁透镜
物镜：圆锥形电磁透镜
物镜光阑：4个可变孔径光阑，(30um, 50um, 100um, 200um)，摇摆对中
样品室：内部尺寸  210mm直径 X280mm高度，可接配EDS,BSE,WDS，
样品台：五轴全自动，机械对中样品台，坐标导航软件控制，具有多种保护功能。
样品台行程： X: 65 mm, Y: 40 mm, Z: 5~70 mm, T: -20°~90°, R: 360°
样品尺寸:130mm（直径） x 71mm（样品高度）
操作控制：PCI/USB接口PC机控制，，基于WindowsTM的GUI操作软件，鼠标键盘操作，允许用户自定义热键操作，19英寸显示器。
自动功能：自动亮度对比度，自动聚焦，自动消象散，自动电子枪对中，自动灯丝饱和，自动偏压，动态聚焦，倾斜校正等一键操作。
语言：英语 或者 中文
图像扫描模式：全屏、选区、分屏、双放大、SE&bse混合；TV模式、慢扫描、照相存储等，
图像像素：5120 x 3840 pixel
图像格式：JPG 、BMP、TIFF等
图像位移：±50um（WD=10mm）
图像处理分析管理软件
真空系统：两级全自动涡轮分子泵系统（260 liters/sec），真空度实时显示。
外形尺寸和重量： 主 机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350㎏
操作桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10㎏
电源 主机电器控制部分 单相220~250V交流 50/60Hz 2KW
稳定度 小于 5%
地线 独立地线1条，小于等于100Ω
环境
温度 15-30°C
湿度 小于等于70 %
交流磁场 小于等于0.3 uT
地面振动 5 um/sec Max. @ < 5~10Hz
门宽 900mm或更宽