MKS M100B质量流量控制器
价格:电议
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产品品牌:
MKS
产品型号:
M100B

弹性密封质量流量控制器(通用型)

M100B是一种通用的弹性密封的质量流量控制器,可在生产,分析,工业以及测试等多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器,M100B可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使M100B能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有模拟通讯模式,其为全量程的1%。

 

技术参数:

全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM,30000SCCM,50000SCCM(可选)

控制量程:2% to 100% 的全量程。

测量:全量程的1%

灵敏度:全量程的0.1%

热机时间:小于2Min.

响应速度:小于2Sec.

输入电压:±15VDC@100ma

输出电压:0-5VDC

连接器:模拟: 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

        数字:RS485或Device net或Profibus

法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等

材质:316 不锈钢