MKS 1559A质量流量控制器
价格:电议
地区:广东省 深圳市
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产品品牌:
MKS
产品型号:
1159A

质量流量控制器(大流量,常闭阀)

 

1559是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范围进行气体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器,1559独有的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。它的这个特点是通过使用一“平衡力”阀门的设计来实现的,它能够消除管道压力引起控制阀门内部的非平衡状态。1559的为全量程的±1%。

                                                                                                         

例:型号1559A00421LS1BV    

 采购序列号          

校准气体(SEMI气体编号)*

Helium, He                       001

Argon, Ar                004

Hydrogen, H2             007

Nitrogen, N2              013

Oxygen, O2               015

      

**校准流量SLM-sccm(相当氮气200SLM

20                    021L  

50                    051L  

100                 12L  

200                 22L 

 

装配件(Y)

标配:Swagelok 0.5英寸管                       S   

选配:SwagelokR 8VCRR 凸接头                     R  

选配:SwagelokR 8VCOR 凸接头                     G   

 

常闭                                1

 

电气/通讯连接器

模拟15针D                           B

 

密封(Z)

标配: Viton R                            V  

选配: Neoprene R                        N    

选配: BunaN                            B   

选配: KalrezRR                          K   

 

 

用于1559A的电缆线

CB259-5-10用来将1559连接至PR4000, 246, 247                                            

(如要在247上连接2个以上的通道,需要添加一个电源,请用CB1559-1-10)           

CB147-1-10用来将1559连接至146, 186, 647, 167                             

CB1559-1-M1用来连接1559A、247D和260PS