产品品牌：

Duke

产品型号：

SURF-CAL

Duke SURF-CAL尺度标准微粒

SUR-CAL 为各种硅晶片的表面性状的检测和标定提供了便利的工具。产品的粒径复合仪器厂家所需的各种规格。

 

产品描述

杜优嘉科学公司与半导体生产企业和半导体行业协会（SEMI）联手开发了一系列标准尺度微粒产品， 为标定表面扫描检测系统（SSIS）的提供了有效、可靠、和便利的途径。SURF-CAL系列产品完全符合SEMI行业协会的建立的SSIS标定指导准则， 微粒粒径纵贯0.047到3.0微米的范围， 覆盖了国际半导体技术蓝图（ITRS）所定义的关键质控点。

 

通过将SUR-CAL聚苯乙烯乳胶微粒沉积在特定的硅晶片（PSL）表面，用户可以对扫描仪进行周期性标定，并可与其它的扫描仪进行对比。 用户还可以对生产环节中关键阶段SSIS的性能做出评估。

 

产品包装为50ml，微粒分散于超净过滤去离子水中，微粒浓度 3 x 10⁸ / ml。PD1100（粒径1.112 μm）和小于这一粒径的产品还提供10¹⁰ /ml 的产品包装规格以满足需要使用差别移动粒子分析仪（DMA）和其它尺寸排除技术粒子分析仪器的客户需求。

尺度测量方法学：

为了确保与NIST的直接可溯源性，产品的粒径是直接从NIST提供的标准参考微粒通过电子显微镜或光学显微镜的测量中直接转化而成的。尺度的不确定性是依照NIST技术笔记1297方法 （1994年版“NIST测量结果不确定性评估指导方案”）计算得到的。产品中所描述的不确定性为扩大性不确定因素，覆盖因子数为2 （K=2）。

产品规格说明

微粒组成：	聚苯乙烯
微粒密度	1.05g/cm3
微粒数量：	3 x 108 or 1010 particles per mL
包装规格：	50ml瓶装，每盒6瓶
微粒折射率：	1.59 @ 589 nm (25°C)
添加剂：	无
产品保质期：	≥2年
存储条件：	冰箱储藏（冰点以上）防止冰冻，紧闭瓶盖防止污染
包装内容	标定与溯源证书、粒子计数拟定程序、原料安全数据表（MSDS）

产品表格说明

Cat. No.	Description
PD-047	Certified peak dia.: 0.047µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-047B	Certified peak dia.: 0.047µm (Particles/mL: 1010)
PD-064	Certified peak dia.: 0.064µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-064B	Certified peak dia.: 0.064µm (Particles/mL: 1010)
PD-083	Certified peak dia.: 0.083µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-083B	Certified peak dia.: 0.083µm (Particles/mL: 1010)
PD-092	Certified peak dia.: 0.092µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-092B	Certified peak dia.: 0.092µm (Particles/mL: 1010)
PD-100	Certified peak dia.: 0.100µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-100B	Certified peak dia.: 0.100µm (Particles/mL: 1010)
PD-125	Certified peak dia.: 0.126µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-125B	Certified peak dia.: 0.126µm (Particles/mL: 1010)
PD-155	Certified peak dia.: 0.155µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-155B	Certified peak dia.: 0.155µm (Particles/mL: 1010)
PD-200	Certified peak dia.: 0.202µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-200B	Certified peak dia.: 0.202µm (Particles/mL: 1010)
PD-204	Certified peak dia.: 0.204µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-204B	Certified peak dia.: 0.204µm (Particles/mL: 1010)
PD-215	Certified peak dia.: 0.220µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-215B	Certified peak dia.: 0.220µm (Particles/mL: 1010)
PD-305	Certified peak dia.: 0.304µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-305B	Certified peak dia.: 0.304µm (Particles/mL: 1010)
PD-365	Certified peak dia.: 0.360µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-365B	Certified peak dia.: 0.360µm (Particles/mL: 1010)
PD-500	Certified peak dia.: 0.498µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-500B	Certified peak dia.: 0.498µm (Particles/mL: 1010)
PD-800	Certified peak dia.: 0.809µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-800B	Certified peak dia.: 0.809µm (Particles/mL: 1010)
PD-802	Certified peak dia.: 0.802µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD-802B	Certified peak dia.: 0.802µm (Particles/mL: 1010)
PD1100	Certified peak dia.: 1.112µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD1100B	Certified peak dia.: 1.112µm (Particles/mL: 1010)
PD1600	Certified peak dia.: 1.57µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD2000	Certified peak dia.: 2.01µm (Particles/mL: 3 x 108)
PD3000	Certified peak dia.: 3.04µm (Particles/mL: 3 x 108)