由于真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是联系在一起的，所以它不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使用。如有气镇装置的泵，可抽除一定地的可凝汽体。真空泵可以用来直接获得真空度在10~3托以下的真空作业，以及配合其它真空作业之用。

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