产品品牌：

ETD

产品型号：

ETD-2000C

        COXEM Co.，Ltd  专门制造扫描电子显微镜的化企业，自2007年成立以来，业务发展迅速，已成为主要扫描电镜制造商之一。自2011年5月，COXEM在中国设立直销办公室，配置级扫描电镜应用工程师和维修工程师，向中国顾客提供优质扫描电镜产品和服务。
更多信息请登陆我们的网站：https://coxem2010.blog.163.com/ 

ETD-2000C型在ETD-2000型基础上，增加了蒸碳附件。适用于分析型扫描电镜对于不同分析需要的导电膜层制备。

配置参数如下：

•  仪器尺寸 ： 400mm×300mm×400mm（L×W×H）
• 真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm（D×H）
•  靶（上部电极）： 50mm×0.1mm（D×H）
•  样品台： 50mm(D)  ，自动旋转。
•  操作真空： 4×10-1mbar至2×10-2mbar
•  微型真空气阀： 可连接φ3mm软管
•  可通入气体： 多种
•  工作电压： 0-1600V (DC)可调
• 溅射电流： 0-50mA
• 溅射定时： 1-9999S
• 蒸碳电流 0-10A(AC)
• 真空泵： 4L/S两级机械旋转泵（极限真空2×10-2mbar）
• 样品表面离子清洁（选配）