产品品牌：

美国

产品型号：

EMS 650/EMS 650T

EMS 650/EMS 650T大样品离子溅射镀膜仪

又称三靶大样品室离子溅射镀膜仪，EMS 650配套装有直径60mm、厚度0.1mm的金靶（用户可以选择其它材质的靶材）；面板式控制，的人性化设计；溅射参数可预先设置，包括控制排气的电磁阀（自动控制），可以获得的可重复的镀膜厚度；溅射头互锁，EMS 650和EMS 250镀碳配件通用；EMS 650可控制独立的真空泵。下图示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基础上加装了一个功率为60L/秒的涡轮增压泵，能够获得更高更洁净的真空。 性能特征： 全自动控制 低能冷却系统（（功率是6W） 低电压溅射（100V，DC;每分钟温度升高不到2°C） 镀膜厚度（2nm金粒） 的可重复性 镀膜厚度20nm或200A（扫描电镜） 微电子控制 三个靶台同时溅射 聚碳酸脂安全外壳   仪器参数：   仪器尺寸： 450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H) 工作腔室 硼硅酸盐玻璃: 225mm(Dia.) x 125mm(H) 重量： 24Kg 靶台： 3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚 旋转样品台： 155mm Dia. 距离靶台40 to 50mm可调 真空范围： ATM ­1x10-2 mbar 镀膜电流范围： 0-100mA 镀膜速率： 0-20nm/minute 溅射镀膜时间： 0-4 minutes 电源： 230 volts 50Hz (8 amp 包括泵) 维护： 氩气 ­ 通常 4 psi 真空泵（推荐） 整套真空泵软管和油气过滤器135L/Min   订购信息:   货号 产品名称 规格 91020 EMS 650 Sputter Coater complete with Targets (3) x 60mm Dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard 台 91020T EMS 650T Sputter Coater 台 91025 Rotary Vacuum Pump 个