全自动光谱椭偏仪
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全自动光谱椭偏仪(PH-ASE型)把使用者从烦琐的手动调节样品高度和倾斜度工作中解放出来,样品对准是为了保证椭偏仪测量的可重复性和性。已获得的自动样品对准装置能够显著减少操作失误;能够工作于透明或反射基底;能够进行地貌图测量,包括翘曲晶片。



全自动光谱椭偏仪 - 产品特点

全自动样品校准
高测量速率 < 8秒
消除了全波段范围内的盲点
可测量透明和吸收基底
高测量
具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
友好的软件界面,强大数据分析功能
具有实验数据和模拟数据三维绘图功能



光谱椭偏仪 - 技术指标

光源:氙灯
光斑直径:1-3mm
入射角范围:20°到90°自动控制
波长范围:350-850nm, 250-1100nm, 250-1700nm:0.002°~ 0.02°
波长:1nm
测量时间: < 8s (取决于测量模式和粗糙度)
 入射角度:0.01

光谱椭偏仪 - 可选配

CCD线阵列探测元件:200-850nm,350-1000nm
样品显微镜
高稳定性消色差补偿器
透射测量架
XY移动样品台

光谱椭偏仪 - 典型客户

美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。