产品品牌：

syscos

产品型号：

LE-M5

LE - M5 是系科仪器公司推出的激光型椭偏仪。采用全新椭偏算法配合高品质相位补偿的设计方案，可以获得更为出色的原始椭偏参数（TanPsi 及 CosDel），进而获得更为的折射率及厚度。LE-M5同时支持多角度测量，适应复杂应用的膜厚测定。无论是光面还是绒面，LE-M5都能提供出色的采集速度及。

 

 

WHY LE-M5？

 

成熟的整体设计，高信噪比

微细光斑（<<1mm，≈20μm）

切换式载物台

集成操作的LE-M5软件系统全天候数据监控