气体质量流量控制器M3050V
价格:电议
地区:辽宁省 大连市
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气体质量流量控制器M3050V

 

气体质量流量控制器M3050V,采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,无需温度压力补偿。气体质量流量控制器M3050V是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置,能在较宽的量程范围内快速而地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化,也不会影响其正常的工作。

 

气体质量流量控制器M3050V产品亮点:

-类    型:MFC气体质量流量控制器

-控制范围:25slpm ~ 50slpm  (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) 

-准度等级: ±1% F.S

-耐    压:≤90bar

-标准接口:0-5VDC,4-20mA可选

-响应时间:≤2sec

-使用范围:2~100% for max range

-供电电源:+15~+28Vdc, 350Ma

-漏    率:1×10-9atm·cc/sec

-气路连接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR

-适用介质:所有气体(含腐蚀性气体和有毒气体)

-无需温度、压力补偿

 

气体质量流量控制器M3050V

产品型号

M3050V

M3050A

  流量范围 (N2)

25slpm ~ 50slpm

 25slpm ~ 50slpm

  响应时间

 ≤2秒

  ≤2秒

  准确度

  ≤±1% 满量程

  ≤±1% 满量程

 重复

  ≤±0.25% 满量程

 ≤±0.25% 满量程

 输出输入信号

 0~5Vdc

  0~5Vdc或4~20毫安

  供电

 +15~+28Vdc350毫安

  +15~+28Vdc350毫安

  耐压

  ≤90 bar

 ≤90 bar

 工作环境温度

  0~50 °C

  0~50 °C

应用领域:
-分析仪器     -干刻(RIE/DRIE)     -燃料电池
-生物技术     -气相色谱分析         -等离子刻蚀
-激光焊机     -混气配气系统         -微反应装置
-真空镀膜     -过程自动化           -石化工业