S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜
研究超大，超重，超高样品的分析型扫描电镜 ● 可载样品直径达300mm
● 观察区域直径达203mm
● 在观察110mm高样品时可进行能谱分析
● 样品室设置多种接口，可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
● 5轴优中心马达台可以倾斜--20°~+90°
● 采用节能，清洁的涡轮分子泵 S-3700N技术参数 | 分辨率 | SE 3.0nm，30KV(高真空模式)
10nm， 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm，30KV（低真空模式） | | 放大倍率 | x5~x300，000 | | 加速电压 | 0.3~30KV | | 低真空范围 | 6~270Pa | | 图像电位移 | ±50μm （工作距离 10mm） | | 装载样品 | 直径300mm |
样品台 | X | 150mm | | Y | 110mm | | Z | 5~65mm | | R | 360° | | T | -20°~90° | | 观测区域 | 203mm直径 | | 样品高 | 110mm（工作距离10mm） | | 样品台类型 | 优中心马达台 |
电子光学系统 | 灯丝 | 预对中灯丝 | | 物镜光阑 | 4孔活动光阑4孔活动光阑 | | 枪偏压 | 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 | | 探测器 | 二次电子探头
5分割半导体式被散射探头 | | 分析位置 | 工作距离10mm，取出角35° |
显示控制系统
| 控制模式 | 键盘鼠标、操纵杆、旋钮板 | | 显示器 | 液晶显示器 | | 辅助功能 | 3D动画演示功能
电镜操作导航功能
样品操作导航功能
倾斜补偿功能 | | 存储图像 | 640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840 | | 图片格式 | BMP, TIFF, JPEG | | 图像显示模式 | 全屏模式：1280 x 960
标准模式：640 x 480
分割模式：640 x 480 点 x 2
信号混合模式 |
真空系统 | 控制模式 | 全自动 | | 分子 | 210升/秒，一台 | | 机械泵 | 135升/分，一台 | | 保护措施 | 断电保护、漏气保护 |
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