供应气体质量流量计M2100V 韩国Line-Tech 气体质量流量计
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莱因泰可气体质量流量计M2100V
韩国原装进口高气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算。广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。
应用:
所有工业,气体混合及分析 ,半导体工业,注气、表面加工行业(PVC,CVD,反应器等) , 部件泄露检测,产品研究和开发,高压行业,光纤,燃料电池,反应器系统,气体的混合系统。
优势:
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高(±1%F.S)
l 耐高压(90 公斤)
l 快速响应时间(<1秒)
l 高重复性(±0.25%F.S)
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规格:
型号 | M2100V |
流量范围(N2) | 30~100 slpm |
响应时间 | <2秒 |
度 | ±1% |
重复 | ±0.25% |
输入输出信号 | 0~5Vdc |
供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
工作压力 | < 90 bar |
工作温度 | 0~50℃ |
漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
控制范围 | 2~100% |