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韩国气体质量流量计(M3050A)25slpm-50slpm
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产品属性
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【各项技术参数】
Model
M3050V
M3050A
流量范围(N2)
25 slpm~ 50 slpm
25 slpm~ 50 slpm
响应时间
≤2 sec
≤2 sec
精准度
≤±1% FS
≤±1% FS
重复
≤±0.25% FS
≤±0.25% FS
输入/输出信号
0~5 Vdc
0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电压
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压
≤90 bar
≤90 bar
工作环境温度
0~50 °C
0~50 °C
漏率
1*10E-9 atm cc/sec
1*10E-9 atm cc/sec
使用范围
2 ~ 100%
2 ~ 100%
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