韩国气体质量流量计(M3050A)25slpm-50slpm
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【各项技术参数】
ModelM3050VM3050A
流量范围(N2)  25 slpm~ 50 slpm  25 slpm~ 50 slpm
  响应时间  ≤2 sec  ≤2 sec
精准度  ≤±1% FS  ≤±1% FS
  重复  ≤±0.25% FS  ≤±0.25% FS
 输入/输出信号  0~5 Vdc  0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电压  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压  ≤90 bar  ≤90 bar
工作环境温度   0~50 °C  0~50 °C
漏率  1*10E-9 atm cc/sec  1*10E-9 atm cc/sec
使用范围  2 ~ 100%  2 ~ 100%