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韩国气体质量流量计（M3100V）30slpm-100slpm
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深圳市汇创机电设备有限公司

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【各项技术参数】
ModelM3100VM3100A
流量范围(N2)  30slpm ~ 100slpm  30slpm ~ 100slpm
响应时间  ≤2 sec
  ≤2 sec
 精准度  ≤±1% FS  ≤±1% FS
重复  ±0.25% FS  ±0.25% FS
  输入/输出信号  0~5 Vdc  0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
  耐压  ≤70 bar  ≤70 bar
  工作环境温度  0~50 °C  0~50 °C
漏率  1*10E-9 atm cc/sec  1*10E-9 atm cc/sec
使用范围  2 ~ 100%   2 ~ 100%