Park Systems XE-100 原子力显微镜

XE-100是Park Systems的旗舰产品。该产品可以实现的纳米计量和无损检测。新增的多区域自动扫描功能，更是极大的提高了检测效率。该系统可广泛的应用于材料科学、聚合物、电化学等诸多领域。近年来，Raman HR-800和XE-100的联合系统更是帮助VLSI开拓出了对100纳米以下硅微结构进行机械性能分析的新天地。

技术参数(机械部分)：
1. XY扫描器：50μm×50μm（闭环），可选配100μm×100 μm（闭环）
2. Z扫描器：12μm (可选配25μm)
3. 水平度：50μm线扫描垂直偏差不超过1nm
4. XY和Z扫描器的正交性：1.0o
5. 样品台移动范围：25mm×25mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 样品尺寸：100mm×100mm
7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

技术参数(电子部分)
1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE标准

标准工作模式：
. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)

扩展工作模式：
. 力测量（Force measurements）
. 导电（Conductive AFM）
. 电力（Electric Force）
. 电子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)

主要特点：
一、 计量
XE系列AFM彻底消除了球面误差，因而具备了实现纳米计量的能力。
二、 扫描器线形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性扫描器限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合，并且通过位移传感器及时进行反馈控制，这就有效保证了扫描的准确度和。
三、 非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFM显著的技术优势。采用这一模式扫描时，针尖和样品间距可以保持在几个纳米，在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。
四、 CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点，是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描，10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中，扫描100次后图像细节依然清晰，证明针尖没有受到损伤。