特点
• 大幅提高的驱动速度(X 轴: 80 mm/s, Z2 轴
立柱: 20mm/s) 进一步减少了总的测量时
间。
• 为了长时间保持横向线性规格，三丰公
司采用极坚硬的陶瓷导轨，既抗老化又
经久耐磨。
• 驱动器 (X 轴) 和立柱 (Z2 轴) 均配备了高
线形编码器 (其中Z2 轴上为ABS 型)。
因此，在垂直方向对小孔连续自动测量、
对较难定位部件的重复测量的重复
得以提高。表面粗糙度测量
• 直线度: ±(0.05+0.001L)μm*
专用于需要高测量的工件。
*S4 型、H4 型、W4 型；L 为驱动长度 (mm)
• 符合JIS '82/'94/'01, ISO, ANSI, DIN, VDA 等
表面粗糙度的国际标准。
• 标准配置：高测头 (0.75mN / 4mN 测力)，
分辨率高至0.0001μm。轮廓测量技术参数:
X 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
长度基准: 反射型线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s 外加手动
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向前／向后
直线度: 0.8μm / 100mm, 2μm / 200mm
* 以X 轴为水平方向上
直线位移: ±(1+0.01L)μm (SV-C3100S4, H4, W4)
(20ºC 时) ±(0.8+0.01L)μm (SV-C4100S4, H4, W4)
±(1+0.02L)μm (SV-C3100S8, H8, W8)
±(0.8+0.02L)μm (SV-C4100S8, H8, W8)
* L 为驱动长度 (mm)
倾角范围: ±45º (带有X 轴倾斜单位)
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
长度基准: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s 外加手动
Z1 轴 (检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (SV-C3100), 0.05μm (SV-C4100)
刻度: 线性编码器 (SV-C3100),
激光全息测微计 (SV-C4100)
直线位移: ±(2+I4HI/100)μm (SV-C3100)
(20ºC 时) ±(0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100)
*H: 基于水平位置的测量高度 (mm)
测针上／下运作: 弧形移动
测针方向: 向上／向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上: 77º, 向下: 87º
(使用配置的标准测头， 依表面粗糙度而定)
测针针尖 半径: 25μm, 硬质合金
表面粗糙度测量技术参数:
X1 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
长度基准: 线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s 外加手动
移动方向: 向后
直线度: (0.05+1L/1000)μm (S4, H4, W4 型)
0.5μm/200mm (S8, H8, W8 型)
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
长度基准: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s 外加手动
检测器
范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用测头选件时，
可达2400μm)
测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
测针针尖: 金刚石, 90º / 5μmR (60º / 2μmR:低测力型)
类型: 差动电感式