ST-21型方块电阻测试仪是四探针方块电阻测试仪中的新一代产品，是一种依照类似国家标准和美国A.S.T.M标准而设计，专门测量半导体方块电阻(或称薄屋电阻、面电阻，单位Ω/□)的新型仪器。可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(如ITO透明导电氧化膜)……等同类物质的薄层电阻。该仪器以大规模集成电路为主要；用基准电源和运算放大器组成高稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、高的特点。

 

 特 点* 采用九十年代推出的大规模集成电路作为仪器的主要部分，测量准确稳定；* 以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；* 采用单个干电池供电，带电池欠压指示；* 体积≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；* 轻便手持式设计操作、测试简便； *.特制之手握式探笔，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜；* 带探头与被测物质接触良好指示(LED) 、探头带抗静电模块；* 单电源开关，推拉式探头-主机接插件，操作极其简便；技 术 指 标              1. 测量范围： 按方块电阻量值大小分为二个量程档：○1 1.00～199.99Ω/□；○2 10.0～1999.9Ω/□；              2. 恒流源：测量过程误差：≤±0.8%；3. 模数转换器：量程：0～199.99mv；分辨率：10μv；方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示；4. 测量不确定度：在整个量程范围内，测量不确定度≤5%5. 四探针头：间距：1mm或3.8mm可选,偏差：≤2%；针间绝缘电阻≥500MΩ；6. 电源：9V叠层电池1节