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真空度测试仪 型号:D25257 库号:D2525
真空度测试仪 型号:D25257 库号:D2525
真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的鉴定设备。它以单片计算机为主控单元,测试过程完全实现自动化。该仪器在原理上改变了外同类产品采用电流峰值做标定的方法,而采用离子电荷来做标定。这样,在物理原理上有好的准确性,而且,有效地抑制了测试过程中脉冲电源的干扰,使测试稳定。
该仪器采用两次采样的方法扣除由于环境因素产生的漏电电流,并且在测量过程中考虑了完全漏气的真空灭弧室的判别,做到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前,该仪器中已存有26条真空灭弧室的测量标准曲线,涵盖了外绝大多数管型。
1、基于电离电荷的采样技术
ZKY2000型真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我厂在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室里的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值有概率上的相关性。因此,我厂了基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。
2、漏电电流的处理
对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时,会有数值不等的几个微安的漏电电流,此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室,由于其周边的绝缘支撑件也有漏电,这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性,并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法,扣除了漏电电流,保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
技术参数
1、测量范围:1*10-5~1*10-1pa
2、测量误差:l*l0-4~1*l0-1pa中误差<5%
3、测量分辨率:10-5pa
4、允许环温:O℃~55℃
5、空气湿度:<85%RH
6、电 源:AC220士10%
7、外型尺寸:430X300X235mm
AC220士10%
430X300X235mm
10-5pa
全新
一个