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非接触三坐标测量仪
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上海聚亮光学仪器有限公司

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                WDK2010—Z   三坐标非接触式测量仪

 

一、非接触测量仪特点:

   以裂像聚焦指示器为测量原理, 采用高光学聚焦点检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场，微分干涉，金相组织，偏光等观察功能。所以对金线弧高、极细微的间隙高低差、夹杂物、微米以下的突起、细微划痕进行观察。

 

二、非接触测量仪用途：

   适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构，几何形状进行显微观测。并且有三维的测量功能，其解析率达0.0005mm。因此是精密零件，集成电路线宽，半导体芯片，光伏电池，光学材料等行业的必用仪器。

 

三、非接触测量仪主要规格：

  1. 镜筒：铰链式三目头部  30°倾斜   270°旋转

  2. 高眼点平场目镜: WF10X/22

3.平场复消色差物镜：(可根据使用需求选择不同倍率的物镜)

f=200mm用全平场复消色差物镜/MPlan APO

物镜数据

 

倍率

2X

5X

10X

20X

50X

100X

NA

0.055

0.14

0.28

0.42

0.55

0.55

W.D(mm)

34

34

33.5

20

13

13

焦点距离(mm)

100

40

20

10

4

2

分解率(μm)

5

2

1

0.7

0.5

0.5

焦深(μm)

91

14

3.58

1.6

0.9

0.9

 

  4. 水平转换器：五孔转换器，可保证测量

  5. 落射式照明系统：高亮度LED灯（5W）

  6. 调焦结构：粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置，

粗动升降范围30mm，微动格值，0.001mm*100格，数显解析值 0.0005mm。

  7. 透射光源：LED光源，1W，亮度可调

  1. Z轴升降范围：38mm以内，手轮转动130mm  允许工件 130mm，

导轨3+L/1000

X轴移动范围：200mm  解析率：0.001mm  可解锁手动快进，

 Y轴移动范围：100mm  解析率：0.001mm  可解锁手动快进，

    测量(3+L/100)um  (L: 被测长度,um)

    落射光测量误差≤0.08% 

  9.Z轴采用裂像法原理进行观察并测量，结合精密的Z轴导轨，可有效保证测量的准确度。

  10.工作台尺寸: 360mm*250mm  玻璃板尺寸: 225mm *175mm  工作台承重: 30kg 

  11.仪器外型尺寸：380mm*550mm*830mm 

  12.净重：100kg  毛重：120kg