供应白光干涉仪系列 自动SIS200
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基本信息
品牌:SNU型号SIS 2000操作方式:自动
功能:检测、观察、分析1nm  
其它型号:SIS 1200  
产品介绍    白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,,为韩国SAMSUNG指定供应商,LPL友好俱乐部成员,清华大学,台湾大学,首尔大学友好合作伙伴。产品特点1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。技术参数
机型SIS 2000
工作台尺寸350mm×350mm
倾斜度±3 °
测量行程X:200mm   Y:200mm
Z轴行程100mm
运动方式自动,马达驱动
扫描速度30μm/sec
垂直分辨率0.1nm
CCD黑白CCD, 640×480 像素
物镜安装架手动 5个位移的可定位夹具
镜头选配镜头:5×、10×、20×、50×
应用领域1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工附件水准测量器、旋转台、CCD、镜头、LED光源、扫描控制盒、PZT传感器、光源控制器等