非接觸3維光學量測儀 

龍門自動型

Model:SMS

龍門自動型

1.適用於:MEMS，半導體， LCD，LED，Micro lens

生物晶片等微結構表面形狀參數研究

2.量測項目: 2D/3D表面輪廓，粗糙度，膜厚，

平面度，磨耗體積等微結構表面參數量測

3.全自動量測，並有 stitching功能，擴大量測面積的

耦合圖形觀察

4.垂直量測:≦0.1nm, 量測範圍: 數nm到10mm

5.可以搭配 x5,x10,x20,x50,x100物鏡使用