规格

一、測定工件：

1. 工件尺寸：φ160mm

2. 工件厚度：50mm

3. 工件重量：2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z方向測定範圍：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3. 測定力：min.1mgf,max.50mg

4. 觸針半徑：2 μm

5. 驅動方式：直動式

6. 再現性：1σ= 1nm

三、X 軸 (基準軸)：

1. 移动量(測長)：100mm

2. 移動的真直度：0.2μm/100mm

3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s

4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm

四、Z軸：

1. 移动量：50mm

2. 移動速度：max.2mm/S

3. 檢出器自動停止機能

4. 位置決定分解能：0.2μm

五、工件台：

1. 工件台尺寸：φ160mm

2. 機械手動倾斜： ± 1mm/150mm

六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)

七、床台：材質為花崗岩石

八、防振台(選購)：落地型或桌上型

九、電源：AC100V±10%,

50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量：

W494×D458×H610mm,120kg

(不含防震台)