1、承载台：

  移动范围： 手动调节，X方向200mm，螺距0.8mm，0.01mm；

手动调节，Y方向200mm，螺距0.8mm，0.01mm；

手动调节，Z方向5mm，螺距0.25mm，0.002mm；

2、探针座：

  移动范围： 手动调节，X方向13mm，螺距0.25mm，0.002mm；

手动调节，Y方向13mm，螺距0.25mm，0.002mm；

手动调节，Z方向13mm，螺距0.25mm，0.002mm。

3、显微镜：

  移动方向：Y，Z方向

  总放大倍数：光学显微镜200X 连续可调；视频显微镜400X,（10”液晶显示器）

  光源：环形荧光灯，220vAC，9w

4、 电气指标：

测量电流：可测量1pA电流

测量试验要求：a.探针和chuck的漏电不大于1PA；

b.探针和chuck的噪声不大于1PA；

c.测量电压从-10V到+10V,测量仪器4156C

5、加热台面指标：

  加热温度范围：常温－200摄氏度或更高

  温度控制：常温－100摄氏度：±1摄氏度；

100－200摄氏度：±2摄氏度；

晶片固定方式：压式固定和真空吸附