半导体参数分析
价格:电议
地区:
电 话:86 010 62145497
手 机:13801327034
传 真:86 010 62146659

BXT2931C型四通道半导体参数分析系统

1设备描述

BXT2931C型四通道半导体参数分析系统为高性能、全自动、可程控设备。可用于多类半导体器件(如二极管、三极管、场效应管、MOS、CMOS管等的多种不同成品形式如晶片、成品电路等)的直流参数测量和分析,并可进行图形显示。主要应用于集成电路的计算机辅助设计(CAD),新元件的评价,新材料的评估,电路设计的元件选择,半导体生产的过程控制、质量控制及品质保证等。

2、主要组成

设备配备可程控的源/测量单元(SMU)4个,单路电压监测单元(VMU)1个,主控单元(MCU)1个。使用GP-IB IEEE488.2接口与微机相连,配置的控制机软件系统可遥控BXT2931C设备,使用BXT2931C设备采集的数据进行图形显示并分析。该设备可独立使用,也可作为实验室及生产线完整测试系统的组成部件之一。

3、设备参数

基本功能:

施加电压测量直流电流/施加电流测量直流电压;控制微机屏幕显示测量/计算结果;图形分析;测量设置、测量数据文件的存储与载入;

主控缓存:

256K SRAM

源/测量单元:

4通道,每通道可编程实现可变直流电压源/电流监测或可变直流电流源/电压监测。(单元编号29310A);

电压测量单元:

单通道16-bitAD转换(单元编号29310D),快单点测量时间50uS,和积分时间有关的平均测量次数:快速-8次,中速-16次,慢速-24次

源/监测功能

 

29310A源/测量单元(4通道):

源/分辨率/输出范围:

电压源输出范围

电压输出分辨率

输出电流

 

±20V

1mV

±100mA

 

±40V

2mV

±50mA

 

±100V

5mV

±20mA

 

电流源输出范围

电流输出分辨率

输出电压

 

±100mA

10uA

±20V(>50mA)

 

±40V(>20mA)

 

±100V(≦20mA)

 

±10mA

1uA

 

±1mA

100nA

 

±100µA

10nA

 

±10µA

1nA

 

±1uA

100pA

 

±100nA

10pA

 

±10nA

1pA

 

±1nA

100fA

 

±100pA

300fA

 

 

施加/测量/限制

电压量程

电压源

电压表

电压限制

100V

±(0.01%+5mV)

±(0.06%+5mV)

±(0.2%+300mV)

40V

±(0.01%+1mV)

±(0.01%+5mV)

±(1.5%+500mV)

20V

±(0.01%+500uV)

±(0.01%+2mV)

±(1%+50mV)

电流量程

电流源

电流表

电流限制

100mA

±(0.01%+5uA)

±(0.01%+5uA)

±(1%+500uA)

10mA

±(0.01%+200nA)

±(0.01%+200nA)

±(1%+100uA)

1mA

±(0.01%+20nA)

±(0.01%+100nA)

±(2%+10uA)

100uA

±(0.01%+5nA)

±(0.01%+20nA)

±(3%+100nA)

10uA

±(0.02%+500pA)

±(0.02+%1nA)

±(2%+50nA)

1u

±(0.05%+100pA)

±(0.03+%100pA)

±(3%+5nA)

100nA

±(0.08%+5pA)

±(0.05+%10pA)

±(2%+5pA)

10nA

±(0.2%+500fA)

±(0.1+%10pA)

±(2%+50pA)

1nA

±(0.5%+100fA)

±(0.6+%300fA)

±(4%+300fA)

100pA

±(3%+100fA)

±(3%+300fA)

±(5%+300fA)

 

电流/电压限制保护:

² 源/测量单元作为电压源使用时可程控对其输出电流进行限制;

² 源/测量单元作为电流源使用时可程控对其负载上的电压进行限制;

限制保护范围:

² 施加电压-电流限制:10pA 到100mA;

² 施加电流-电压限制:2V到100V;

阻抗及电容特性:

l 输出阻抗(电压源/电流监测模式):0.4Ω;

l 输入阻抗(电流源/电压监测模式):≥1013Ω;

l 电容性能负载:≤ 1000pF。

 

电压表:测量范围、分辨率、

测量电压范围

分辨率

±1V

50µV

±(0.5%*读出值+2mV)

±10V

500µV

±(0.2%*读出值+5mV)

输入阻抗:1MΩ±1%。

 

测量功能(所有通道)

承受电压:100V(源/测量单元)

源模式(源/测量单元):

² V(电压源/电流监测);

² I(电流源/电压监测)。

源功能(源/测量单元):

² 主步进;

² 从步进;

² 主同步进;

² 恒定。

每个通道电压/电流扫描步进数:

² 扫描方式下,点数为1000点;

² 时间方式下,点数为10000点。

主步进扫描类别:

² 线性扫描方式:通过设定开始值、终止值及步进值定义扫描阶梯;

² 对数扫描方式:通过设定开始值、终止值及选择对数(Log10、25、50)。

扫描阶梯:

² 主同步进扫描:与主步进扫描同步,可定义相对于主步进扫描的斜率和偏移值;

² 从步进扫描:通过设定开始值、终止值及步进点数定义扫描阶梯。每当主步进通道完成周期扫描时,从步进通道的步进值增加。

延迟时间:是指在扫描测量和时间测量工作模式下,施加和测量之间的延迟时间,用户可对首点测量时间、测量间隔进行设定。

测量模式:

² 单文件测量:任何一个用户设定的单周期测量即为单文件测量;

² 组文件测量:将多个单文件设定不同周期并组合在一起测量。

分析功能:

操作环境

操作温湿度:10℃到40℃;≦70%RH(40℃),温度变化:≦1℃/5分钟;

外形尺寸:480W x 340H x 620D(mm);

重量:32kg。