氧化锆陶瓷抛光设备设备规格：

型号	YM-18A	YM-24A	YM-36A	YM-48A
抛光盘规格	φ460*φ140	φ610*φ200	φ910*φ300	φ1220*φ400
抛光尺寸	φ150mm	φ200mm	φ300mm	φ450mm
抛光后平面度	±0.5u以内	±0.7u以内	±1u以内	±1u以内
工件平行度（25mm）	±1u以内	±1.5u以内	±2u以内	±2u以内
工件粗糙度	0.4nm以内	0.4nm以内	0.4nm以内	0.4nm以内
抛光盘电机功率	2.2kw 3相380V	3.7kw  3相380V	7.7kw  3相380V	11kw  3相380V
抛光盘转速	0~120rpm	0~100rpm	0~80rpm	0~60rpm
外形尺寸	700*1100*1100mm	950*1200*2200mm	1200*1400*2300mm	1500*1700*2400mm
重量	960kg	1800kg	2600kg	4500kg

氧化锆陶瓷抛光设备主要用途：
    该机主要适用用各种大尺寸硅片及晶体材料的抛光。

氧化锆陶瓷抛光设备特点：

    1.本系列抛光机的吸附盘由四台单独的电机驱动、速度与压力可调。
    2.控制系统中采用PLC彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更，并具有远程监控，远程维护的功能；
    3.本系列抛光机运行平稳，抛光后的产品厚度公差可控制在正负0.002mm范围内，粗糙度可达到0.0005mm。更多关于平面研磨机 平面抛光机 研磨抛光机 蓝宝石衬底抛光机

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