主要特点：

32组参数设置

5000组检测结果储存能力

性能指标：

    壁挂式 尺寸：6.6”h x 8.7”w x 7.2”d

    流量分辨率: 0.001 sccm 或更佳

    压力显示分辨率:0.001

    压力传感器分辨率：

    满量程的0.00005 % （高于0.4pa）

    充气和稳定过程的压力显示分辨率: 0.001单位

    测试过程的压力显示分辨率:0.00001单位(或0.00001psi)