平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差.平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1级的为0.03～0.05微米；2级的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的长度一般为200毫米。

1、平面平晶 YDF-1 标准外形尺寸 单位：mm

规格30 45 60 80 100 150 200 250

直径30 45 60 80 100 150 200 250

高度15 15 20 20 25 30 40 45 平晶

规格尺寸平面平晶,环形平面平晶,方形平面平晶可定做.

2、平面平晶制成两种： 1级 和 2级

3、平面平晶工作面的平面度偏差允许值为：

直径为 30至60mm 1级平晶 0.03μm

直径为 30至60mm 2级平晶 0.1 μm

直径为 80至150mm 1级平晶 0.05μm

直径为 80至150mm 2级平晶 0.1 μm

更大尺寸平面平晶平面度偏差允许值，根据标准。

4、平面平晶工作面的局部偏差允许值为： 0.03μm

5、平面平晶测量工作应在室温2 0℃±3℃条件下保持数小时后进行。