概述
便携式电阻测度仪是用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
本仪器按照半导体材料电阻率的国际及国家标准测试方法有关规定设计。
它主要由电器测量部份（主机）及四探头组成，需要时可加配测试架。
为减小体积，本仪器用同一块数字表测量电流及阻率。样品测试电流由高精宽的恒流源提供，随时可进行校准，以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分先材料也可以用来作产品检测。对1～100Ω•cm标准样片的测量瓿差不超过±3%，在此范围内达到国家标准机的水平。
测量范围：
可测量 电阻率：0.01～199.9Ω•cm。
可测方块电阻：0.1～1999Ω/口
当被测材料电阻率≥200Ω•cm数字表显示0.00。
（2）恒流源：
输出电流：DC 0.1mA～10mA分两档
10mA量程：0.1～1mA 连续可调
10mA量程：1mA ～10mA连续可调
恒流：各档均优于±0.1%
适合测量各种厚度的硅片
（3） 直流数字电压表
测量范围：0～199.9mv
灵敏度：100μv
准确度：0.2%（±2个字）
（4） 供电电源：
AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W
（5） 使用环境：
相对湿度≤80%
（6） 重量、体积
重量：2.2 公斤
体积：宽210×高100×深240（mm）
(7)KD探针头
压痕直径：30/50μm
间距：1.00mm
探针合力：8±1N
针材：TC

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